MX600气体质量流量计

气体质量流量计

使用手册

1.使用须知

尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的MX600系列质量流量计产品。

本手册详细叙述了正确、使用该系列产品的事项。

产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用,对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任,本手册对您安装、维护及故障维修时，，请妥善留存保管。

2.用途和特点

质量流量计,用于对气体的质量流量进行测量,

它们在半导体微电子工业、特种材料研制、一些用气设备，真空等多种的和生产中有着重要的应用。应用场合包括:冶金行业，化学化工，医药，食品行业，节能环保，石油化工，楼宇通风系统，风量采集装备设备，配气设备，轻工业，船舶，化学仪器，压缩空气，氮气机设备等等

MX600系列质量流量计在单个芯片上实现了多传感器集成，具有、重复性好、响应、稳定、工作压力，流量范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作),支持多种气体的测量，其操作使用方便,可任意位置安装,并便于与计算机连接实现自动控制。

MX600系列质量流量计有以下几种安装方式(如图2.0所示)。也可以根据客户需求定制其他接口

3.工作原理

MX600系列气体流量传感器的原理是利用气体流动热传导形成温差：当空气气流流经发热元件并使其受到冷却时,发热元件温度降低,阻值减小,电桥电压失去平衡,控制电路将增大供给发热元件的电流,使其温度保持高于温度补偿电阻的温度。电流增量的大小,取决于发热元件受到冷却的程度,即取决于流过传感器的空气量。当电桥电流增大时,取样电阻上的R1电压就会上升,从而将空气流量的变化转化为电压信号V的变化(图3-1)。信号电压输入单片机后,单片机可根据信号电压的高低计算出空气质量的大小。

（图3-1）

4.主要技术指标(1)

表4.0 MX600A1型.性能指标

可根据用户需求定做任意连接方式

(图4.0)

主要技术指标(2)

表4.1 MX600A2型.性能指标

可根据用户需求定做任意连接方式

(图4.1)

主要技术指标(3)

表4.2 MX600A3型.性能指标

（图4.2）

5.0电气接口

标准电缆长度1米

6.0选型举例

7.0保修与服务

7.1本公司生产的mx600系列产品在出货两年以内，如果用户按照说明书要求使用，并且产品没有遭受物理损害、污染、改装或翻新，我们产品的材料、加工和性能的质量，若有问题，免费维修。

7.2用户收到货物后，并通过传真、电话或电子邮件的方式及时通知本公司销售部有关收货情况。

7.3保修期内，产品由本公司或授权的服务中心修理，否则，产品的保修是无效的。

7.4在两年保修期以内，维修是免费的。如果保修期过了，在维修前将会通知用户需要更换的部件及维修费用。维修后，在100天以内对修理的部分进行保修，保修件包括易损件。

7.5用户使用过有毒、有污染或腐蚀性气体，流量计本体需要清理干净，否则不负责修理或保修，以免对维修人员造成伤害。

7.6保修对使用的要求

气体洁净且没有颗粒物,没有液体,这就要求在流量计的上游气路中安装<30μm

的过滤器。

输入的气体压力符合产品的耐压标准,不能超过该产品要求的压力。

使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效，由于不正确的使用所导致的损害不能归咎于本公司。

对电子线路的要求：小心按规定连接系统的接线,不正确的接线会导致产品内部电路的损坏。若自备电源,需要电压波动小于5mV的高抗干扰稳压电源。

气路的连接：仔细的安装密封管件,所有的密封管件经过单独检查。

禁止自行拆开流量计。如果自行拆卸造成损坏，则本公司的保修无效。

7.7服务

本公司的产品工程师将会帮助您解决关于操作、调试、机电连接、工作条件要求、我们提供技术支持与维护。

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